环境与工艺控制

   温湿度稳定：闭环控制系统维持清洗液温度±0.5℃精度，湿度控制防止静电吸附。

   化学品管理：支持废液回收与循环利用。

   防爆与安全：防爆门锁及紧急停机功能。

 高效节能设计

   低耗水技术：采用“喷淋-回收”闭环系统，节水率可达60%以上。

   快速切换程序：支持多配方存储（≥100组），换型时间＜15分钟，适应多工艺场景。

   低能耗运行：变频电机与热能回收系统降低综合能耗20%-30%。

 智能监控与数据分析

    在线检测：集成SPC（统计过程控制）系统，实时监测颗粒计数、表面粗糙度（Ra＜0.1nm）等参数。

    预测性维护：通过电流监测提前预警泵体、阀门等易损件故障。

    数据追溯：存储每片晶圆的清洗日志（时间/温度/流量），支持ISO 26262功能安全认证需求。

典型应用场景

   逻辑芯片：7nm/5nm以下先进制程前道清洗

   存储芯片：DRAM/NAND闪存蚀刻后去残留

   功率器件：SiC/GaN等第三代半导体材料表面处理

   MEMS传感器：微结构去胶及钝化层清洗